микроэлектромеханические системы.
Источники:
- Мосиенко С.А. Описание полезной модели к патенту. RU 179 821 U1. Дата регистрации: 24.05.2018. Опубликовано: 24.05.2018 Бюл. № 15. – С. 6. [Электронный ресурс] // URL: https://elibrary.ru/download/elibrary_38153698_44268777.PDF (дата обращения: 23.09.2020 г.)